晶体硅在电子工业中有广泛的应用。工业上生产高纯硅的流程如下：

请回答下列问题：
（1）二氧化硅与焦炭反应的另一种产物是一氧化碳。该反应的化学方程式为。
（2）蒸馏属于变化（填"物理"或"化学"）。
（3）完成由下列纯SiHCl₃制取高纯硅的化学方程式：